Machine Learning Force Field 기반 제일원리 분자동역학 계산을 이용한 low-k 물질 설계
발표자
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초록
내용
반도체 소자의 초미세화 및 고집적화로 인해 높은 기계적 강도와 낮은 유전상수를 지니는 절연물질에 대한 연구가 요구되어지고 있다. 이 발표에서는 Machine Learning Forece Field 기반 제일원리 분자동역학 시물레이션을 이용해 설계된 비정질 SiOCH 유전체 구조에 대한 기계적 특성 및 광학적 특성을 연구하였다. 특히, 유전체의 조성 변화에 따른 탄성계수 및 유전상수 변화를 원자수준에서 조사하였다. 이를 통하여 저유전상수와 고탄성계수를 지닐 수 있는 유전체 구조를 제시하고자 한다.