Study on the Polishing Performance of CMP Pad Containing End-capping Polymer Structure.
발표자
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초록
내용
본 연구에서는 CMP pad를 이루는 폴리우레탄의 end-capping 구조에 따른 물성 차이를 확인하고 이로 인한 연마 성능에 대해 연구를 수행하였다. TDI-PTMG계 폴리우레탄 프리폴리머에 end-capping을 위한 선형 모노올 구조의 에탄올과 방향족 모노올 구조의 벤질 알코올을 첨가하였다. 합성된 폴리우레탄 탄성체의 특성을 고찰하기 위해 기계적 물성을 측정하였고, 폴리우레탄 탄성체로 만든 pad의 CMP성능을 평가하였다. End-capping을 위한 모노올 함량이 1%까지는 경도, 신율, 모듈러스가 감소하였고, 연마성능 개선이 확인되었다. 이는 우레탄 사슬에 단락된 구조를 일부 형성하여 CMP 진행시 fresh한 표면 상태를 나타내는데 유리하기 때문이다. Debris 관점에서는 1% 까지 에탄올 함량이 증가할수록 debris size가 증가하는 반면, 벤질 알코올은 반대의 결과를 얻었다. 이는 벤질 알코올의 벤젠링 구조로 인해 brittle 한 특성이 강화되었기 때문이다.