Salt-assisted CVD방법을 이용한 단층 고결정성 WX2 (X= S, Se) 성장 연구
발표자
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초록
내용
이차원 전이금속 칼코겐화물은 우수하며 흥미로운 광학적, 전기적 그리고 물리적인 특성을 보이는 소재이며, 더 나아가 차세대 반도체 소자로의 응용으로 큰 주목을 받고 있다. 그 중, WX2 (X= S, Se)는 준금속의 특성을 가지는 반도체 소재이며 화학기상증착법을 통해 대면적으로 합성하고 특성을 알아보았다. 그리고 합성하기 위해 gas의 종류 , 염의 비율, 타켓 기판과 전구체 사이의 거리 등 여러 가지 변인 요인을 고려하여 실험을 진행했다. 대면 성장 시킨 WSe2, WS2를 광학현미경, raman분광법, AFM을 이용하여 광학적 요소를 분석했다. 또한 트랜지스터 제작을 통한 전기적 특성을 분석해 보았다.