Neutral-Layer-Free Directed Self-Assembly of Block Copolymer in Trench Using Capillary Force-Induced Meniscus
발표자
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초록
내용
두 개의 서로 다른 고분자가 공유결합으로 연결된 블록 공중합체(Block Copolymer, BCP)는 대표적인 자기조립(self-assembly) 물질로 나노패턴 제작 소재로 많은 관심을 받고 있다. BCP는 부피 분율에 따라 5~50 nm 크기를 가지는 구(sphere), 실린더(cylinder), 라멜라(lamellae) 구조의 제작이 가능하며, 이를 활용하기 위하여 두 고분자 블록에 대한 neutral layer가 (PS-b-PMMA의 경우, 약contact angle 75~85도) 요구된다. 본 연구에서는 이러한 neutral layer없이, Capillary force에 의해 유도된 Meniscus를 이용 해서 엔트로피 패널티를 조절하여 PS-b-PMMA 나노 구조를 수직하게 배향 가능함을 보여준다.