최홍균 고분자 과학과 기술 제 28 권 4 호 2017년 8월 265 그림 4. PS-arm-PB-arm-P2VP ABC 믹토암 스타 삼중 공중합체의 미세 상분리 구조. 도식도에서 흰색이 PS, 진한회색이 PB, 연한회색이 P2VP를 각각 나타낸다. PS와 PB, P2VP의 질량비는 각각 a 652114, b 341155, c 451540, d 211762이다. 그림 5. 12가지의 Archimedean 타일패턴. 괄호안의 숫자는 패턴을 구성하 는 정다각형의 변의 수를 나타낸다.20 그림 3. PS-arm-PI-arm-PMMA ABC 믹토암 스타 삼중 공중합체의 미세 상분리 구조 a , b core-shell 실린더 구조.12 c 타일 패턴.13 는지 여부가 결정되며 이 경우에는 블록 공중합체 분자의 연 결점이 PI-PS 계면에 존재하고 PS와 PMMA 사슬간의 부 분적인 혼합이 생긴다. 이런 core-shell 형태의 실린더 구조 는 ABC 선형 블록 공중합체에서도 얻어지는 구조이다. 반 면에 그림 3c에 보여진 구조는 그림 2의 분자�...

최홍균 고분자 과학과 기술 제 28 권 4 호 2017년 8월 267 a b c 그림 10. PI-arm-PS-arm-PFS 믹토암 스타 삼중 공중합체의 필름 형태로 부터 얻은 모폴로지들. 스케일바는 200 nm. 그림 11. μ-ISF 필름 형태의 타일 패턴에서 실리콘 기판에 패턴을 전사한 결과. a , b 는 4.82 패턴에서, c 는 63 패턴에서 전사된 구조이다. a , c 는 PFS도메인을 남겨둔 3층 구조의 패턴이다. 상태에서의 모폴로지 뿐만 아니라 필름상태 그리고 실린더 나 구형 등 제한된 공간내에 갇힌 상태에서의 모폴로지등 다 양한 경우에 대한 시뮬레이션 결과를 발표하였다.25–27 2.3 ABC 믹토암 스타 삼중 공중합체의 필름 형태에서의 미세상분리 최근에는 블록 공중합체의 미세상분리 현상을 리소그래 피에 응용하기 위해 활발한 연구들이 진행되고 있다. 이를 위해서는 블록 공중합체를 기판 위에 얇은 필름 �...

최홍균 고분자 과학과 기술 제 28 권 4 호 2017년 8월 269 4. H. Elbs, C. Drummer, V. Abetz, and G. Krausch, Macromolecules, 35, 5570 2002 5. Y. Mogi, H. Kotsuji, Y. Kaneko, K. Mori, Y. Matsushita, and I. Noda, Macromolecules, 25, 5408 1992 6. C. Tang, J. Bang, G. E. Stein, G. H. Eredrickson, C. J. Hawker, E. J. Kramer, M. Sprung, and J. Wang, Macromolecules, 41, 4328 2008 7. H. K. Choi, J. Gwyther, I. Manners, and C. A. Ross, ACS Nano, 6, 8342 2012 8. H. Iatrou, A. Avgeropoulos, G. Sakellariou, M. Pitsikalis, and N. Hadjichristidis, “Miktoarm Star μ-Star PolymersA Successful Story” in Miktoarm Star PolymerFrom Basics of Branched Architecture to Synthesis, Self-assembly and Applecation, RSC Polym. Chem. Ser., p1 2017 9. T. FujimotoT, H. Zhang, T. Kazama, Y. Isono, H. Hasegawa, and T. Hashimoto, Polymer, 33, 2208 1992 10. H. Iatrou,and N. Hadjichristidis, Macromolecules, 25, 4649 1992 11. S. Okamoto, H. Hasegawa, T. Hashimoto, T. Fujimoto, H. Zhang, T. Kazama, A. Takno,...

... 열처 리 공정 만으로 패턴을 형성할 수 있어 웨이퍼 스케일에 적용이 가능하다.2,3 5 또한 현재 반도체 생산 공정에 서 이용하는 여러 장비들을 그대로 사용하여 패턴 형성이 가능하여 새로운 공정 장비의 적용 및 공정 최적화 작 업과 같은 비용과 노력 없이 실제 공정에 쉽게 적용이 가능하다.4 이러한 블록 공중합체 리소그래피는 큰 비용없이 나노 패턴을 제작할 수 있어 나노 과학 연구의 발전에 크게 도움이 되어 왔다. 특히 극단적으로 작은 스케일의 나노패터닝에 의하여 소재의 성질을 크게 변화시키는나노

안 솔ㆍ최종원ㆍ김명웅 고분자 과학과 기술 제 28 권 4 호 2017년 8월 271 그림 1. a 그래핀 나노리본과 그래핀 나노메쉬 구조 및 최소 너비 w 의 정의, b 양자 구속 효과에 의한 전자 구조의 변화 Provided in courtesy of Prof. Michael S. Arnold in University of Wisconsin , c 암체어 armchair 가장자리 구조를 갖는 반도체성 그래핀 나노리본의 전자 구조,14 Reproduced with permission of Phys. Rev. B, Copyright 1996 American Physical Society. d 그래핀 나노메쉬 구조가 보이는 띠갭과 너비의 관계.17 Reproduced with permission of Phys. Rev. Lett., Copyright 2008 American Physical Society. 과학 연구, 예를 들어 양자 구속 효과 quantum confinement effect 를 실험적으로 구현하는 연구의 핵심적인 기술로 발 돋움하여 왔다. 이러한 연구의 가장 좋은 예시는 2차원 소재 의 나노패터닝이다. 2차원 소재는 원자 단위의 두께를 갖는 재료로...