특 집 | 고차 헬리칼구조를 갖는 폴리아세틸렌과 그라파이트의 합성 628 고분자 과학과 기술 Polymer Science and Technology 차 구조를 제어하는데 있어 유용한 방법으로 기대 되고 있 다. 또한, N*-LC를 이용한 반응장은 다른 공액계 고분자 의 나선구조 제어에 이용되고 있으며, 앞으로 화학반응에 의한 비대칭성 제어와 비대칭성 구조를 갖는 고분자 합성 등 넓은 범위에서 이용 가능할 것으로 기대된다. 또한, 공 액계 고분자의 형태 제어를 통해 얻어진 고차구조를 갖는 고분자를 탄소화처리의 전구체로 사용하는 새로운 방법은 그라파이트의 구조 제어 연구에 폭넓게 응용될 것으로 기 대된다. 참고문헌 1. P. Karrer and C. Eugster, Helv. Chim. Acta., 34, 1805 1951 2. G. Natta, G. Mazzanti, and P. Corradini, Rend. Accad. Naz. Lincei., 25, 3 1958 3. T. Ito, H. Shirakawa, and S. Ikeda, J. Polym. Sci., Chem. Ed., ...

... 1997-2000 한국화학연구원 선임연구원 2000-2006 국민대학교 화학과 부교수 2006-현재 한양대학교 화학과 교수 소프트 리소그래피 Soft Lithography 를 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술 Soft Lithographic Methods to Micro/Nanofabrication 박경선·이기석·성명모 | Kyung Sun Park·Ki Seok Lee·Myung Mo Sung Department of Chemistry, Hanyang University, 222 Wangsimni-ro, Seongdong-gu, Seoul 133-791, Korea E-mailsmm@hanyang.ac.kr 1. 서론 나노과학과 나노기술의 빠른 발전을 위해서는 나노크기의 구조를 신속하고 경제적으로 제조할 수 있는 기술이 필수적이며 따라서 나노패터닝과 관련된 폭넓은 기술이 개발되었거나 개발되는 단계에 있다. 예를 들어 deep UV λ=200-290 nm 와 extreme UV λ 200 nm 포토리소그래피 photolithography , 상-이동 포토리소그래피 phase-shift photolithography , 전자-빔 라이팅 electron-beam writing , 집중 이온 빔 focus...

일반총설 | 소프트 리소그래피 Soft Lithography 를 이용한 마이크로 /나노 패터닝 기술 630 고분자 과학과 기술 Polymer Science and Technology 그림 1. 미세접촉프린팅과 SAMs 패턴. DTM , 광 스탬프 light stamp 등의 프린팅 방법과 레플리카 몰딩 replica molding , 모세관 힘 리소그래피 capillary force lithography 모세관-미세몰딩 micromolding in capillaries, MIMIC , 미세전사몰딩 microtransfer molding, μTM , 나노임 프린팅 nanoimprinting , 액체중재전사몰딩 liquid-bridgemediated nanotransfer molding, LB- nTM 등의 몰딩법 이 있다. 이 글에서는 소프트 리소그래피 방법을 이용하여 마이크로미터 또는 나노미터 크기의 구조를 제작하고 이 구조를 이용한 응용연구 중심으로 연구동향을 소개한다. 2. 본론 2.1 미세접촉프린팅 Microcontact Printing-μCP 제조방법 미세접촉프린팅은 원하는 구조로 형상화된 탄성체 스 탬프�...

일반총설 | 소프트 리소그래피 Soft Lithography 를 이용한 마이크로 /나노 패터닝 기술 632 고분자 과학과 기술 Polymer Science and Technology Si SiO 2, Si3N4, metals or photoresist PDMS PDMS PDMS Polyuretane Pour PDMS prepolymer Cure, Peel off PDMS Mold Polyuretane PDMS Polyuretane Cure PU, Peel off Mold Polyurethane Polyurethane Polyurethane 그림 5. 레플리카 몰딩을 이용한 폴리우레탄 스탬프의 제작. 그림 6. 나노임프린팅 방법을 이용한 선격자 회절판의 제작 모식도. stamp 또는 light-coupling mask LCM 라고 부른다.7 고체 기질의 표면에 PR을 입힌 후 light stamp를 마스크로 이용 하여 UV를 조사하면 패터닝된 PR을 얻을 수 있으며, 이 경 우 light stamp의 집광 focusing 효과 때문에 복잡한 렌즈 구조 없이 고분해능의 패터닝이 가능하여 나노미터 크기 구조체를 만들 수 있다. Light stamp를 이용한 나노패터닝 기술은 미세접촉프�...

일반총설 | 소프트 리소그래피 Soft Lithography 를 이용한 마이크로 /나노 패터닝 기술 634 고분자 과학과 기술 Polymer Science and Technology 그림 10. 미세 구조물 위에 형성시킨 다양한 나노선 다리구조의 측면 SEM 이미지. 그림 11. 액체중재전사몰딩법. 같은 몇 가지 변수들에 의해 나타난다.20 모세관 힘 리소그래피를 응용한 기술로 자외선에 의해 경화되는 고분자를 모세관 힘 리소그래피에 적용하면 잘 정렬된 마이크로/나노미터 단위의 계층별 구조체를 제작 할 수 있다. 이 방법은 자외선복사에 의한 경화 과정에서 의 산소 방해 효과를 이용하여 두 단계의 몰딩처리를 하는 것으로써, 이를 이용하여 그림 10과 같이 다중의 계층별 혹은 매달린 나노다리구조를 형성할 수 있다.21 이 방법을 새로운 제작 도구로 사용하여 생체모방기술, 미세유체공 학, 광학, 전자소...