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일반총설 | 3D 멀티칩 패키징용 Temporary Bonding & Debonding 접착소재 282 고분자 과학과 기술 Polymer Science and Technology 그림 13. Bisphenol A type을 이용한 이중경화형 UV/열 접착제의 적외선 분광 분석.23 그림 14. 스핀 코터를 이용한 이중경화형 UV/열 접착제의 적용. 그림 15. 스핀 코터의 회전속도에 따른 접착제의 두께편차 측정 결과 EVG, Brewer Science사 그림 16. 다관능 광경화형 모노머의 종류 A부터 F까지 순서대로 mono, di, tri, tetra, penta, hexa 시간, 접착제 도포량 그리고 도포 후 베이킹 등을 조절하여 이러한 문제를 해결하여야 한다 그림 15 2.3 속경화를 위한 기술 TBDB 접착 소재의 본딩 시 적용되는 기술은 화학적 결합 에 의한 접착, 열에 의한 접착, UV 조사 의한 접착 등을 들 수 있다. 이중 속경화 공정용에 적합한 요소 기술은 UV 조 사에 의한 방식이며 기존의 십 수초 ...
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