Organic/Inorganic Thin Film Encapsulation 적용된 마이크로 디스플레이 기술 개발
발표자
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초록
내용
AR/VR기기의 디스플레이는 사용자의 몰입감을 높이기 위해서 해상도가 매우 높아야 한다. 현재 상용화 기술 개발이 활발히 진행되고 있는 마이크로 디스플레이 기술 중의 하나로 WOLED (White Organic Light-Emitting Diode)에 컬러필터를 적용한 OLEDoS (OLED on Silicon)가 있다. 이러한 OLEDoS 디스플레이는 해상도가 높아질수록 픽셀의 크기는 작아지고 인접한 픽셀과의 간격도 줄어들게 되므로, OLED로부터 나온 빛이 원치 않는 픽셀로 새는 optical crosstalk이 발생할 가능성이 높아진다. 보통 OLEDoS에서는 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정을 통해 우수한 WVTR (Water Vapor Transmission Rate) 특성을 갖는 무기 박막을 증착하여 TFE (Thin Film Encapsulation)를 제작한다. 이러한 무기 TFE는 보통 수 마이크로미터 수준 두께가 요구되기 때문에 고해상도록 갈수록 optical crosstalk 문제로부터 자유롭지 못하다. 본 발표에서는 마이크로미터 이하의 얇은 두께를 가지면서, 유기 박막과 무기 박막이 다층으로 증착된 구조의 hybrid 유/무기 TFE를 개발하고, 이를 마이크로 디스플레이에 적용한 결과에 대해 소개하고자 한다. 이러한 유/무기 TFE 구조는 높은 광투과도와 낮은 WVTR 특성을 가지며, 무기 박막 공정에서 발생하는 파티클을 커버하고 TFE 내부의 스트레스를 완화시킬 수 있다. 유/무기 TFE의 유기 박막은 잉크젯 프린팅 공정을 통해 제작하였으며, 디스플레이 양산 공정에 사용되는 프린팅 헤드를 이용하였다. 최종적으로, 유/무기 TFE를 OLEDoS 패널 제작 공정에 도입한 결과에 대해 설명한다.