최근 연구가 많이 진행되고 있는 유연 소자의 구성재료인 유기 재료들은 높은 유연성을 갖지만 수분과 산소에 취약하기 때문에 공기 중에서의 안전성이 무기 재료에 비해 저하된다. 때문에 공기 중의 수분을 효과적으로 막아주는 봉지 재료에 대한 연구가 필수적이며, 높은 빛 투과도와 낮은 수분 투습도를 갖는 고밀도 산화막 사용이 제안되고 있다. 하지만 산화막 재료는 낮은 탄성한계와 취성 거동을 갖기 때문에 유연 소자 적용을 위해 높은 유연성을 달성하기 위한 연구가 수행되어야 한다. 본 연구에서는 고밀도 산화막을 제작하기 위해 원자층증착법의 비정질 알루미나 박막 저온 공정을 개발하였으며, 봉지재료의 유연 소자 적용에 핵심이라 할 수 있는 반복 변형에 대한 봉지 성능 안전성을 평가하고 이를 개선하는 연구를 수행하였다.
이 연구는 2023년도 정부(과학기술정통부)의 재원으로 나노미래소재원천기술개발사업(NRF-2020M3H4A1A02084911)의 지원을 받아 수행된 연구임.